硅片切割液废砂浆中单晶硅微粉回收的重要性
详细描述
一、废砂浆中单晶硅微粉的产生
集成电路用基板、太阳能电池用基板的薄片状产品的切割制备，采用多线切割原理，用钢丝带动由碳化硅磨料构成的砂浆对高纯度的单晶硅或多晶硅棒进行切割。在切割硅棒为硅片的同时也产生了一定量的硅屑，随着切割过程的进行，混入切割液中的硅屑越来越多，终使砂浆的切割性能降低，导致获得的硅片精度恶化，硅屑的产生不仅影响了切割液的使用，还使硅棒的使用率下降。作为战略资源，在我国高纯度硅的95%需要进口，其主要原因是我国还无法规模化将工业硅加工成高纯度的多晶硅。而废的切割砂浆里面混有8～9%（重量）的高纯**料，在硅棒切割加工过程中高纯硅棒的切割损失率高达40%（重量），这也是硅片成本高居不下的原因之一。
二、废砂浆中各组分的价值
1、每吨废砂浆中含有8%～9%（重量）的高纯硅，也就是含有80～90公斤的单晶硅，目前单晶硅市场价格为50万元/吨，因此，废砂浆中的单晶硅价值为4万～4.5万元。
2、每吨废砂浆中含有35%的聚**，也就是含有350公斤的聚**，目前市场价为1.3万元/吨,因此,废砂浆中聚**的价值为0.4550万元。
3、每吨废砂浆中含有33%的碳化硅微粉，即330公斤的碳化硅，目前碳化硅的市场价为1.5万元/吨,因此,废砂浆中的碳化硅价值为0.4950元/吨。
可以看出,废砂浆中各物质的价值以单晶硅为。
三、废砂浆中单晶硅回收的重要性
从单晶硅的产生和价值分析可以看出, 回收废砂浆中的单晶硅意义非凡。
1、将切割砂浆中的高纯**提取出来，进一步用于制备单晶硅或多晶硅的原料，对于资源的有效利用将是一个重要贡献，还可以解决高纯度硅的资源短缺问题。
2、降低了硅片的成本。
3、为废砂浆的回收指明了方向。详情咨询：15617570355 网址：**:****dfkyml**
